本实用新型涉及一种直写光刻机吸盘压板装置，包括安装在吸盘上的若干固定点压机构和安装在吸盘上的移动压杆机构。固定点压机构包括贯穿安装在吸盘左端部的第一气缸和安装在第一气缸活塞杆顶部的压板。移动压杆机构包括对称设置在吸盘前后两侧的前挂板组件和后挂板组件以及连接在前挂板组件与后挂板组件之间的压杆。前挂板组件和后挂板组件均包括挂板、安装在挂板左端部外壁上的电机、与电机的输出轴相连的滚珠丝杠以及与滚珠丝杠的螺母相连的第二气缸。压杆的前后两端分别与前挂板组件、后挂板组件的第二气缸的活塞杆相连。本实用新型能够将翘曲的PCB板材压平，使PCB板材可以正常生产、曝光，提高光刻机的良率和实用性，降低对PCB板材平整度的要求。