一种直写光刻机吸盘压板装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型涉及一种直写光刻机吸盘压板装置,包括安装在吸盘上的若干固定点压机构和安装在吸盘上的移动压杆机构。固定点压机构包括贯穿安装在吸盘左端部的第一气缸和安装在第一气缸活塞杆顶部的压板。移动压杆机构包括对称设置在吸盘前后两侧的前挂板组件和后挂板组件以及连接在前挂板组件与后挂板组件之间的压杆。前挂板组件和后挂板组件均包括挂板、安装在挂板左端部外壁上的电机、与电机的输出轴相连的滚珠丝杠以及与滚珠丝杠的螺母相连的第二气缸。压杆的前后两端分别与前挂板组件、后挂板组件的第二气缸的活塞杆相连。本实用新型能够将翘曲的PCB板材压平,使PCB板材可以正常生产、曝光,提高光刻机的良率和实用性,降低对PCB板材平整度的要求。
基本信息
专利标题 :
一种直写光刻机吸盘压板装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920437840.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-02
授权号 :
CN209606772U
授权日 :
2019-11-08
发明人 :
胡刚
申请人 :
合肥芯碁微电子装备有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
代理机构 :
合肥天明专利事务所(普通合伙)
代理人 :
奚华保
优先权 :
CN201920437840.2
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-02-11 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G03F 7/20
变更事项 : 专利权人
变更前 : 合肥芯碁微电子装备有限公司
变更后 : 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
变更后 : 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
变更事项 : 专利权人
变更前 : 合肥芯碁微电子装备有限公司
变更后 : 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
变更后 : 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
2019-11-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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