一种直写式光刻机的压板装置
授权
摘要
本实用新型提出一种直写式光刻机的压板装置，包括安装于吸盘台面上的第一压板组件、第二压板组件、平移驱动组件，第一压板组件固定安装于吸盘台面，第二压板组件安装于平移驱动组件，平移驱动组件安装于吸盘台面，第二压板组件可通过平移驱动组件从初始位置移动至工件的边缘位置，第二压板组件的初始位置与第一压板组件分别位于吸盘台面的相对两侧边缘，第一压板组件和第二压板组件均包括旋转驱动源、旋转传动组件、多个活动压头，多个活动压头能够旋转以进行压板操作，本实用新型的压板装置动作简单，效率显著提高，通过多个活动压头压平工件整个边缘，工件平面度高。
基本信息
专利标题 ：
一种直写式光刻机的压板装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122388219.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-30
授权号 ：
CN216351773U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
李志李波马运军杨志张雷
申请人 ：
源能智创（江苏）半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市玉山镇南淞路111号华平（昆山）智造园B-6号厂房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122388219.1
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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