一种直写式光刻机的自动门
授权
摘要
一种直写式光刻机的自动门，置于所述直写式光刻机的支架上，所述自动门包括置于所述直写式光刻机支架上相对的第一平行轨道和相对的第二平行轨道，沿所述第一平行轨道滑动的第一门板、相对于所述第二平行轨道滑动的第二门板以及制动装置，所述制动装置控制所述第一门板和第二门板沿所述第一平行轨道或所述第二平行轨道滑动至开启位置或关闭位置。以及应用前述自动门的直写式光刻机。所述自动门通过两个门板联动或者单独运动实现所述自动门的开启或者闭合，两个门板的使用，减小了单个门板的面积，进而可以减小所述挡板的面积，实现减小所述直写式光刻机体积的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种直写式光刻机的自动门
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920816364.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-03
授权号 ：
CN209962090U
授权日 ：
2020-01-17
发明人 ：
彭海磊刘栋蔡瑞章卫平李伟成张雷
申请人 ：
苏州源卓光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920816364.5
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-01-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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