一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构
授权
摘要

本实用新型公开了一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构,包括光刻机本体和控制箱,所述光刻机本体的正面开设有矩形凹槽,且该矩形凹槽的内顶壁固定连接有第一阻尼转轴,所述第一阻尼转轴的表面固定连接有第一转动套,所述控制箱的上表面固定连接有第二阻尼转轴,所述第二阻尼转轴的表面转动连接有第二转动套,所述第一转动套的表面固定连接有伸缩管。该直写式光刻机控制面板的锁紧机构,通过设置锁紧装置和开关按钮,便于按动开关按钮使线圈带电,同时使硅钢柱的表面带磁并吸引锁紧舌,使该直写式光刻机控制面板可以通过锁紧舌的伸缩来锁紧和拉出,从而使操作者在外部维修和操作光刻机控制面板更加的便捷。

基本信息
专利标题 :
一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021867030.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-01
授权号 :
CN213023939U
授权日 :
2021-04-20
发明人 :
王群
申请人 :
江苏九迪激光装备科技有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市邳州市岔河镇岔河电子产业园
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021867030.X
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-04-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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