一种单面自动光刻机用的相机模组
授权
摘要
本实用新型公开了一种单面自动光刻机用的相机模组，包括支撑座，支撑座顶端设置有支撑板，支撑板上安装有X轴控制电机，X轴控制电机上方安装有Y轴控制电机，Y轴控制电机上方使安装有Z轴控制电机，Z轴控制电机的侧面固定有光源相机。本实用新型单面自动光刻机用的相机模组，X轴控制电机进行工作时，带动所连接的Y轴控制电机及其组件沿X轴进行移动，Y轴控制电机进行工作时，带动所连接的Z轴控制电机及其组件沿Y轴进行移动，Z轴控制电机进行工作时，带动所连接的光源相机沿Z轴进行移动，在三个电机的共同作用下可以实现光源相机在三轴方向移动，光源相机顶部设置有圆环状光源，光源可以为光源相机的工作提供光线照明支持。
基本信息
专利标题 ：
一种单面自动光刻机用的相机模组
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022424630.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-27
授权号 ：
CN213479641U
授权日 ：
2021-06-18
发明人 ：
龚志平
申请人 ：
广东莱宝智能装备股份有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市东城区牛山上山门水坑尾1号
代理机构 ：
东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘汉民
优先权 ：
CN202022424630.5
主分类号 ：
F16M11/04
IPC分类号 ：
F16M11/04 F16M11/18 G03B15/02 G03F7/20 G03B30/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16M
非专门用于其他类目所包含的发动机或其他机器或设备的框架、外壳或底座；机座或支架
F16M
非专门用于其他类目所包含的发动机或其他机器或设备的框架、外壳或底座；机座或支架
F16M11/00
用于器械或其上制品的作为支承的机台或支架
F16M11/02
头部
F16M11/04
器械的固定方法；器械相对于支架允许调整的方法
法律状态
2021-06-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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