一种单面自动光刻机的进出料板结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种单面自动光刻机的进出料板结构，支撑座前侧安装有支撑座气缸，并且支撑座左侧加工有托轮电机，右侧加工有支撑座电机，且支撑座电机的左端连接支撑座气缸的右端，支撑座顶部安装有机械手搬运组件，机械手搬运组件的左右两端分别加工有相互对称的气缸支撑座，气缸支撑座上端加工有托轮组件，托轮组件顶端安装有定位轮，定位轮左端连接气缸。本实用新型单面自动光刻机的进出料板结构，通过定位轮可以达到提高光刻机的定位精确度，并且托轮组件和机械手搬运组件可以达到减少光刻机的运料震动的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种单面自动光刻机的进出料板结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022424813.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-27
授权号 ：
CN213399195U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
龚志平
申请人 ：
广东莱宝智能装备股份有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市东城区牛山上山门水坑尾1号
代理机构 ：
东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘汉民
优先权 ：
CN202022424813.7
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
