本实用新型公开了一种单面自动光刻机的对位机构，包括光刻平台，所述光刻平台上表面分别通过螺栓与定位轮和基准电机固定连接，光刻平台四周分别通过螺栓与第一固定柱固定连接，第一固定柱通过螺栓与对位平台底座固定连接。一种单面自动光刻机的对位机构，相机模组一侧的模组电机工作，将光源相机打开，为产品定位备，然后丝杠电机转动丝杠移动，到达产品定位位置。对位平台电机工作将UVW对位平台根据定位运转到相应位置。探针电机将探针升高，到达光刻平台，基准定位气缸将产品固定加紧通过光源模组进行定位，三个电机控制六个限位，定位精确，提高了光刻机对位机构结构的稳固性，提高了生产效率。