一种光刻机光源装置

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摘要

本实用新型提供一种光刻机光源装置。所述一种光刻机光源装置包括不锈钢架和控制系统，不锈钢架内表面通过螺钉与冷却装置固定连接，冷却装置一侧与光源单元板组合架间隙配合。本实用新型提供的一种光刻机光源装置通过采用控制系统，光电传感器能够通过光电效应来将光转换为电流，用电流大小来表示光强，光电传感器将数据转换为电信号传递到处理器，处理器通过信号发射器将电磁波发射出去，外界控制设备接收电磁波，并且发射电磁波回到信号接收器，信号接收器接收信号传导到处理器，处理器控制调光器来控制LED灯的亮度，解决了现有的光源装置，使用者无法了解光源装置内部所放出的光强，并且无法控制光强的问题。

基本信息

专利标题：

一种光刻机光源装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921322791.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-14

授权号：

CN210954608U

授权日：

2020-07-07

发明人：

唐阳明

申请人：

上海图双精密装备有限公司

申请人地址：

上海市青浦区华浦路500号6幢A区1层199室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921322791.4

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20