本发明公开一种光刻机用混合光源发生装置，包括安装轴、激光源、LED光源安装架；安装轴的底部安装有激光源，安装轴的底部设置有底环，底环的外壁与活动轴的底端活动连接，活动轴上设置有LED光源安装架，LED光源安装架上环形阵列设置有多个不同功率的LED光源，活动轴的上方套设有安装环，安装环通过活动杆与移动块连接；活动轴沿着安装轴环形阵列设置有多个；安装轴内腔的顶部设置有驱动气缸，驱动气缸的输出端与移动块连接，移动块环形阵列设置有多个限位活动块，限位活动块与活动杆活动连接；本发明的旋转机构与安装轴的调节相互配合，在多角度的情况下，可以对活动轴进行转动，调节出不同工艺要求的LED光源。