本发明提供一种光刻机光源发生装置，包括：底板、安装筒、激光源、调节镜筒、连接驱动机构和光源强度调节机构，所述底板中部开设有通孔，所述底板表面等距固定有固定柱，三个所述固定柱顶部固定有顶板，所述安装筒固定在顶板中部，且安装筒顶部贯穿顶板，所述激光源插接在安装筒内壁，且激光源与顶板固定连接，所述调节镜筒套设在安装筒外侧下端，所述安装筒外侧下端等距开设有弧形槽，所述调节镜筒内壁等距固定有拨柱。本发明通过调节焦距，可调节激光器的聚光点直径，方便生产不同型号的芯片，且在对激光器的聚光点直径进行调节时，可同时调节激光器的功率，防止基板烧坏，且焦距和激光器的功率通过机械方式同时调节，稳定性较强。