一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源
授权
摘要
本实用新型公开了一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源，包括LED光源组件，通过将LED阵列芯片、聚光透镜、异形光学积分器和准直透镜做一体化紧密胶合，具备聚光、匀光和准直功能，能够提高LED阵列光源的光功率利用率，减小了光路调整的难度，能提供更高的生产效率。同时提出了一种以一体封装的LED阵列光源作为曝光光源的光路系统，增加了二次匀光，保证曝光台面较高的均匀性。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020579195.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-17
授权号 ：
CN213018989U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
王艳军张博张文战
申请人 ：
河南百合特种光学研究院有限公司
申请人地址 ：
河南省新乡市红旗区新东大道166号
代理机构 ：
新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨杰
优先权 ：
CN202020579195.0
主分类号 ：
F21K9/69
IPC分类号 ：
F21K9/69 F21V5/04 F21V19/00 G03F7/20 F21Y115/10
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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