一种用于光刻机的对准镜头
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种用于光刻机的对准镜头，由三组透镜组和分光镜/分光棱镜组合而成，三组透镜组分别为第一透镜组G1、第二透镜组G2、第三透镜组G3；第一透镜组G1和第二透镜组G2构成对准标识搜寻镜头，第三透镜组G3和第二透镜组G2构成高倍率镜头，分光镜/分光棱镜位于两组镜头光路的交汇处；三组透镜组的参数满足关系式F1/F2＝B1，F3/F2＝B2，其中F1为第一透镜组的焦距，F2为第二透镜组的焦距，F3为第三透镜组的焦距，B1为对准标识搜寻镜头的倍率，B1为高倍率镜头的倍率。本发明结构简单，两组镜头共用第一透镜组，结构得到简化，且两组镜头视场完全同轴；保证高分辨率的同时，能够快速搜寻到对准标识。
基本信息
专利标题 ：
一种用于光刻机的对准镜头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114488487A
申请号 ：
CN202210148119.8
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-02-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李文静章广飞王运钢薛业保
申请人 ：
安徽国芯智能装备有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市包河经济开发区重庆路与兰州路交叉口中关村协同创新智汇园D3栋1楼
代理机构 ：
合肥律众知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵娟
优先权 ：
CN202210148119.8
主分类号 ：
G02B13/00
IPC分类号 ：
G02B13/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B13/00
为下述用途专门设计的光学物镜
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 13/00
申请日 : 20220217
申请日 : 20220217
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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