一种光刻机的投影物镜镜头
授权
摘要
本申请为一种光刻机的投影物镜镜头，沿光轴从物面到像面依次至少包括：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜以及第八透镜，其中第一透镜的物面侧为平面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第二透镜的物面侧为凸面，像面侧为平面，其光焦度为正；第三透镜的物面侧为凸面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第四透镜的物面侧为平面，像面侧为凹面，其光焦度为负；第五透镜的物面侧为平面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第六透镜的物面侧为凹面，像面侧为凹面，其光焦度为负；第七透镜的物面侧为凹面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第八透镜的物面侧为凸面，像面侧为平面，其光焦度为正，本申请结构简单精度高。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机的投影物镜镜头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921337103.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-16
授权号 ：
CN210348192U
授权日 ：
2020-04-17
发明人 ：
王瑶
申请人 ：
中山依瓦塔光学有限公司
申请人地址 ：
广东省中山市火炬开发区中心城区祥兴路6号数贸大厦北冀10层1012卡、1013卡
代理机构 ：
中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
杨连华
优先权 ：
CN201921337103.1
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G02B13/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-04-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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