投影物镜系统
公开
摘要
本申请涉及集成电路制造技术领域，尤其是涉及一种投影物镜系统。投影物镜系统包括从投影物镜系统的物方至像方的方向顺序设置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和第五透镜组，第一透镜组至第五透镜组的光焦度呈现出正、负、正、负、正；五个透镜组满足：f2/L＞‑0.1，f4/L＞‑0.3；其中f2为第二透镜组的焦距，f4为第四透镜组的焦距，L为投影物镜系统的物像距；根据本发明的投影物镜系统，能够实现更好的像差控制，进而实现更加完美的图形曝光。
基本信息
专利标题 ：
投影物镜系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114563866A
申请号 ：
CN202210244421.3
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
申淙谭胜旺孙明睿高爱梅
申请人 ：
北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张鹏
优先权 ：
CN202210244421.3
主分类号 ：
G02B13/18
IPC分类号 ：
G02B13/18 G03B21/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B13/00
为下述用途专门设计的光学物镜
G02B13/18
采用具有一个或多个非球面的透镜，例如，用于减少几何象差
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
