本发明提供一种投影物镜，通过一柔性结构将补偿镜固定在第一气体密封腔的一端口，在外部气压发生变化时，补偿镜片在压力差的驱动下在轴向微动位移，通过补偿镜片在光轴方向微动位移对应的投影物镜的倍率变化，对外部气压变化引起的投影物镜的倍率误差进行实时自动补偿。相比于现有技术通过高精度电机和传感器驱动补偿镜片实现轴向微动位移的方式，本发明驱动补偿镜片实现轴向微动位移的驱动力来源于气体压力差，投影物镜中驱动和控制补偿镜片的机械结构简单，加工要求和成本较低，降低了投影物镜的结构复杂性，提高了投影物镜的整体可靠性。