一种淡化光刻图案边缘痕迹的方法

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摘要

本发明公开了一种淡化光刻图案边缘痕迹的方法，包括以下步骤：一、按照与印刷图案1:1的比例确定光刻专版定位纸上光刻图案的外形大小；二、将光刻图案向外扩边X1，扩边X1的大小由光刻专版定位纸预估的变形量的大小确定；三、在扩边X1的基础上再次扩边X2；四、对预留的扩边X2进行渐变处理；五、对步骤四渐变部分进行栅格化处理；六、对步骤五栅格化处理后的光刻图案进行光刻，形成母版，然后再拓片生成子版；七、将子版按照设计好的位置定位拼制到大版模压版上进行生产加工，加工工艺简单，极大的美化了视觉效果；可以允许有更大的移位偏差，避免套位漏底，提高了产品合格率。

基本信息

专利标题：

一种淡化光刻图案边缘痕迹的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN109270787A

申请号：

CN201811242387.6

公开（公告）日：

2019-01-25

申请日：

2018-10-24

授权号：

CN109270787B

授权日：

2022-06-10

发明人：

孙代东

申请人：

青岛嘉颐泽印刷包装有限公司

申请人地址：

山东省青岛市城阳区青霞路8号

代理机构：

青岛海知誉知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

张晓琳

优先权：

CN201811242387.6

主分类号：

G03F1/42

IPC分类号：

G03F1/42 G03F7/20