一种产生光刻图案形成装置的方法，利用光刻投影装置把在图案形成装置中的图案转移到衬底，包括：定义形成在图案形成装置中的图案的特征，该特征具有选定的尺寸和定向以便在衬底上建立所需图像；调整特征的尺寸以补偿所需图像的位移误差和尺寸误差，该位移误差和尺寸误差由图案转移期间特征上的辐射的有效阴影角引入或者与图案转移期间曝光狭缝内的特征的位置有关。用于确定目标图象在衬底上的位置或接近衬底的位置的测量装置，通过图案形成装置上的特征形成目标图象，测量装置包括用于测量目标图象在衬底上的位置或接近衬底的位置的检测器，该检测器补偿目标图像的所测量位置的位移误差和尺寸误差。包括测量装置的光刻装置。