本申请涉及一种焦点尺寸和位置的测量装置、方法和测量模组，该测量装置包括微焦点射线源、测试模组、探测器和测量模组。测试模组包括测试模体，微焦点射线源的中心、测试模体的中心和探测器的中心位于同一直线上。微焦点射线源用于向测试模体发射射线；测试模体用于接收射线，并基于射线在探测器上产生投影图像；测量模组用于获取投影图像，并对投影图像进行分析计算，确定微焦点射线源中的焦点的尺寸和焦点的位置变化。本申请提供的焦点尺寸和位置的测量装置不仅能够测量微焦点射线源中的焦点的尺寸，还可以测量焦点的位置变化，具有较强的实用性。