直写光刻镜头
实质审查的生效
摘要

本发明涉及光学镜头领域,公开了一种直写光刻镜头,该直写光刻镜头包括成像部,所述成像部自物面至像面依次包括:第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜以及第九透镜;定义所述第一透镜的焦距为f1,所述第一透镜的物侧面近轴处为凹面,像侧面于近轴处为凹面;定义所述第七透镜的焦距为f7,所述第七透镜的物侧面于近轴处为凹面,像侧面于近轴处为凹面,具有负屈折力;定义所述第八透镜的焦距为f8,所述第八透镜的物侧面于近轴处为凹面,像侧面于近轴处为凹面,满足下列关系式:‑59mm≤f1≤‑52mm;‑77mm≤f7≤‑45mm;‑72mm≤f8≤‑45mm。该曝光面照度、均匀性好,且低畸变。

基本信息
专利标题 :
直写光刻镜头
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114442281A
申请号 :
CN202210363462.4
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2022-04-08
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈志特王华王重桂吴中海
申请人 :
东莞锐视光电科技有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市东城区主山振兴路333号A106
代理机构 :
深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
胡国英
优先权 :
CN202210363462.4
主分类号 :
G02B13/00
IPC分类号 :
G02B13/00  G02B13/14  G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B13/00
为下述用途专门设计的光学物镜
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 13/00
申请日 : 20220408
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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