本申请提供了一种光刻设备。该光刻设备包括壳体、工作台、光栅尺、变色结构和检测装置，其中，工作台包括冷却设备和光学结构，冷却设备围设在光学结构的外周，光栅尺位于壳体的内壁上，变色结构位于光栅尺和冷却设备之间的壳体的内壁上，检测装置用于根据变色结构的颜色信息确定冷却设备是否发生液体泄漏。该光刻设备包括变色结构和检测装置，变色结构设置在光栅尺和冷却设备之间的壳体内壁上，变色结构在遇到液体时会发生颜色变化，因此，当冷却设备发生液体泄漏，液体流到变色结构上时，变色结构会发生颜色变化，这样只需要用检测装置监控变色结构的颜色信息就可以确定冷却设备是否发生泄漏，从而实现监控光刻设备的冷却水管是否漏水。