一种可动刀口装置、光刻设备及光刻方法
授权
摘要
本发明公开了一种可动刀口装置、光刻设备及光刻方法，属于光刻设备技术领域。该可动刀口装置通过设置X向振动消除单元和Y向振动消除单元能够减小X向开口尺寸调节单元和Y向开口尺寸调节单元运动时对支撑单元产生的振荡冲击，从而减小对承载该装置的机械系统产生的扰动，提升装置工作时的平稳可靠性，提高加工精度和产品性能；同时，通过设置气浮组件能够减小各轴运动时的阻力，从而实现该装置的高速运动，提高光刻设备的产率。并且，X1模组和X2模组共轨运动及Y1模组和Y2模组共轨运动，简化了集成装调工序和装置结构，提高了集成装配效率和装置可靠性，同时降低成本。
基本信息
专利标题 ：
一种可动刀口装置、光刻设备及光刻方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112305865A
申请号 ：
CN201910701360.7
公开（公告）日 ：
2021-02-02
申请日 ：
2019-07-31
授权号 ：
CN112305865B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
李平欣
申请人 ：
上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN201910701360.7
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2021-02-23 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20190731
申请日 : 20190731
2021-02-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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