一种刀口结构、可动狭缝装置及光刻系统
授权
摘要
本实用新型属于光刻技术领域，具体公开了一种刀口结构、可动狭缝装置及光刻系统。其中刀口结构由金属制成，且所述刀口结构包括一体成型的刀片和刀架，所述刀片的一侧设置有刃口，所述刀架围设在所述刀的其余侧。可动狭缝装置包括上述的刀口结构，光刻系统包括上述的可动狭缝装置。本实用新型公开的刀口结构、可动狭缝装置及光刻系统，能够避免可动狭缝装置运行过程中刀片产生飞刀，提高可动狭缝装置及光刻系统的运行稳定性和可靠性。
基本信息
专利标题 ：
一种刀口结构、可动狭缝装置及光刻系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020130893.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-20
授权号 ：
CN211293606U
授权日 ：
2020-08-18
发明人 ：
赵仁洁杨超王泽锟
申请人 ：
上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
孟金喆
优先权 ：
CN202020130893.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-08-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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