清洁装置及光刻设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种清洁装置及光刻设备，该清洁装置包括：安装架、动力元件、连接件和清洁石，动力元件设置在安装架上，连接件包括活动板和连接杆，活动板的一端与动力元件的输出轴连接，连接杆的一端连接至活动板的另一端，连接杆的另一端与清洁石连接。上述的清洁装置能够提高吸盘清洁效率，提高光刻设备产率。相应地，本实用新型还提供一种光刻设备。
基本信息
专利标题 ：
清洁装置及光刻设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922065267.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-26
授权号 ：
CN211330396U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
赵文波闫法领赵乾伟
申请人 ：
上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN201922065267.X
主分类号 ：
B08B1/02
IPC分类号 ：
B08B1/02 G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具，刷子或类似工具的清洁方法
B08B1/02
运动中工件的清洁，如在传送装置上的成卷织物或物品
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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