柔性吸附装置及光刻设备

授权

摘要

本发明提供了一种柔性吸附装置及光刻设备，包括移动模块及设置于移动模块相对的两端的两个柔性支撑件，所述柔性支撑件内设置有一真空吸附腔，以实现对被吸附件的真空吸附，所述柔性支撑件的刚度小于所述被吸附件的刚度，以使吸附所述被吸附件时，形变发生在所述柔性支撑件上，使得所述被吸附件的形变量和扭曲度更小，并且，所述柔性支撑件与所述移动模块之间具有一阻尼气膜，能够抑制所述被吸附件的垂向高频振动，且振动越强，抑制效果越好。

基本信息

专利标题：

柔性吸附装置及光刻设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112415856A

申请号：

CN201910785428.4

公开（公告）日：

2021-02-26

申请日：

2019-08-23

授权号：

CN112415856B

授权日：

2022-04-22

发明人：

钱林峰郑清泉刘屈武丛国栋

申请人：

上海微电子装备（集团）股份有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区张东路1525号

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司

代理人：

王宏婧

优先权：

CN201910785428.4

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20