一种光刻机上的光刻板图像加工设备
授权
摘要
本实用新型涉及一种光刻机上的光刻板图像加工设备，包括机架，所述机架上设有光刻平台以及设置在光刻平台上方的安装台，所述安装台的上端面依次设有激光器、衰减滤光片、光阑以及扫描振镜，所述机架上设有驱动光刻平台沿机架的X轴方向滑移的第一驱动组件以及驱动光刻平台沿机架的Y轴方向滑移的第二驱动组件，所述第一驱动组件包括第一驱动电机、第一丝杆以及第一导轨，所述第一丝杆与第一电机的输出轴连接，所述光刻平台滑动设置在第一导轨上，且与第一丝杆螺纹连接。采用上述技术方案，本实用新型提供了一种光刻机上的光刻板图像加工设备，可以自动调节光刻平台的位移，更加方便实用，无需手动操作，准确度更好，使得光刻板上的图像质量高。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机上的光刻板图像加工设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122946638.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-25
授权号 ：
CN216286153U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
陈正农陈素米陈一夫
申请人 ：
温州南豆科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省温州市龙港市世纪大道603弄8号四楼西边（浙江苍南县新华书店有限公司厂房内）
代理机构 ：
温州共信知识产权代理有限公司
代理人 ：
何志红
优先权 ：
CN202122946638.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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