本实用新型公开了一种光刻机基片定位设备，特别是涉及光刻机技术领域，包括基座；基座包括通过螺丝固定在其右端的侧挡板，侧挡板左侧设置有压制板，压制板底部前后两侧固定有弹簧二，且弹簧二底部均与基座焊接，压制板顶部中间固定有连接螺母一，本实用新型的有益效果在于：通过设置缓冲块、滑块、弹簧一和侧板，能够有效的抵消夹持板移动时的一部分作用力，对基板的磨损较小，以解决现有的光刻机基片定位设备，可能会造成基片的损伤的问题；同时通过设置压制板、连接螺母一、连接螺母二、抵紧栓和弹簧二，从在定位过程中而无需使用者用手将基片压住，使用较为方便，以解决现有的光刻机基片定位设备，操作起来不方便的问题。