一种光刻机的极片定位装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光刻机的极片定位装置，包括支撑板，支撑板的顶端侧壁固定有固定板，固定板上开设有左右贯穿的第一通孔，第一通孔的两侧侧壁滑动连接有对称设置的滑块，滑块之间固定有调节板，调节板的一端延伸至第一通孔外部固定有垂直设置的挡板，固定板的一侧侧壁开设有第二通孔，第二通孔与第一通孔内部连通，第二通孔的内部转动连接有转轴，转轴的一端延伸至第一通孔一侧侧壁转动连接，转轴的另一端延伸至第二通孔外部固定有转板，且转板与转轴之间垂直设置，转轴位于两个调节板之间，调节板靠近转轴的一侧侧壁开设有齿条。本实用新型能够对不同大小的极片进行自动定位，提高了定位精度，而且能够进行快速固定，提高了实用性。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机的极片定位装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920766076.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-27
授权号 ：
CN209674186U
授权日 ：
2019-11-22
发明人 ：
徐峥
申请人 ：
南阳凯鑫光电股份有限公司
申请人地址 ：
河南省南阳市信臣西路569号
代理机构 ：
北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王志敏
优先权 ：
CN201920766076.3
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2019-11-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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