一种光刻机的取片装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光刻机的取片装置,包括第一支撑板,第一支撑板的顶端侧壁固定有垂直设置的第二支撑板,第二支撑板的顶端侧壁固定有气缸,气缸的活塞杆穿过第二支撑板固定有滑板,且滑板的一端在第一支撑板侧壁滑动连接,滑板的底端侧壁滑动连接有滑块,滑块远离滑板的一端固定有第三支撑板,第三支撑板的底端两侧固定有对称设置的固定板,其中一个固定板的一侧侧壁固定有步进电机,步进电机的输出轴通过联轴器固定有转轴。本实用新型能够对不同大小的基片进行自动夹持取片,提高了实用性,而且能够对基片进行送出,提高了便捷性。
基本信息
专利标题 :
一种光刻机的取片装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920766077.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-27
授权号 :
CN209939858U
授权日 :
2020-01-14
发明人 :
徐峥
申请人 :
南阳凯鑫光电股份有限公司
申请人地址 :
河南省南阳市信臣西路569号
代理机构 :
北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王志敏
优先权 :
CN201920766077.8
主分类号 :
B65G47/90
IPC分类号 :
B65G47/90 B65G49/06 G03F7/20
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置;使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
法律状态
2020-01-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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