本实用新型涉及一种光刻机出片的感应装置，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括光刻机本体，光刻机本体上设有输送硅片的过桥板，所述过桥板上方设有电容式传感器，电容式传感器用于感应过桥板上的硅片，所述电容式传感器与信号转换电路的输入端电性连接，电容式传感器将反馈信号传输至信号转换电路，所述信号转换电路的输出端与光刻机本体的信号接收端电性连接。所述电容式传感器与硅片的感应距离为10‑13mm。所述电容式传感器上还与指示灯电性连接。本申请不但大幅降低了维修次数；避免了信号不稳定而导致光刻机误判的情况，大幅提高了生产效率。