一种光刻机的取片装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开了一种光刻机的取片装置,特别是涉及光刻机技术领域,包括支撑架板、光刻机定位台和顶壳,所述支撑架板后方左右两侧对称贯通有若干个安装孔一,本实用新型的有益效果在于:在需要取片时,可按下启闭开关,从而可启动电动滑台,通过调速器可调节电动滑台的滑动速度,调节完毕后,电动滑台可带动连接块向前滑动,从而通过连接块带动拨动块一并向前滑动,拨动块滑动时将拨动光刻机定位台上的基片,并将基片拨动至支撑架板上,防滑片能够增大基片拨动至支撑架板上时的摩擦,达到防滑的效果,从而完成取片,整个取片过程简单且成本低,整体的适用性能较好,以解决现有的光刻机的取片装置,整体的适用性能一般的问题。
基本信息
专利标题 :
一种光刻机的取片装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021017695.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-05
授权号 :
CN212749519U
授权日 :
2021-03-19
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
杨群
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区福海街道新和社区华达村一巷6栋
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021017695.1
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-10-19 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G03F 7/20
登记生效日 : 20210930
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 张军区
变更后权利人 : 无锡环亚微电子有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 214192 江苏省无锡市锡山区蓉通路17-1
变更后权利人 : 214000 江苏省无锡市锡山经济技术开发区云林蓉通路17
登记生效日 : 20210930
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 张军区
变更后权利人 : 无锡环亚微电子有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 214192 江苏省无锡市锡山区蓉通路17-1
变更后权利人 : 214000 江苏省无锡市锡山经济技术开发区云林蓉通路17
2021-08-17 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G03F 7/20
登记生效日 : 20210805
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 杨群
变更后权利人 : 张军区
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区福海街道新和社区华达村一巷6栋
变更后权利人 : 214192 江苏省无锡市锡山区蓉通路17-1
登记生效日 : 20210805
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 杨群
变更后权利人 : 张军区
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区福海街道新和社区华达村一巷6栋
变更后权利人 : 214192 江苏省无锡市锡山区蓉通路17-1
2021-03-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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