本实用新型公开了一种光刻机的取片装置，特别是涉及光刻机技术领域，包括支撑架板、光刻机定位台和顶壳，所述支撑架板后方左右两侧对称贯通有若干个安装孔一，本实用新型的有益效果在于：在需要取片时，可按下启闭开关，从而可启动电动滑台，通过调速器可调节电动滑台的滑动速度，调节完毕后，电动滑台可带动连接块向前滑动，从而通过连接块带动拨动块一并向前滑动，拨动块滑动时将拨动光刻机定位台上的基片，并将基片拨动至支撑架板上，防滑片能够增大基片拨动至支撑架板上时的摩擦，达到防滑的效果，从而完成取片，整个取片过程简单且成本低，整体的适用性能较好，以解决现有的光刻机的取片装置，整体的适用性能一般的问题。