一种光刻机的取片装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光刻机的取片装置,包括底座,所述底座上表面焊接有片盒,所述底座上表面焊接有安装块,所述安装块与片盒侧壁焊接,所述安装块为空心结构,所述安装块内通过轴承转动连接有转动轴,所述转动轴两端均过盈配合有齿轮,所述齿轮啮合有第一齿条,所述第一齿条与安装块顶壁贯穿滑动连接,所述第一齿条位于安装块外部的一端焊接有挡板,所述挡板与安装块上表面之间固定连接有弹簧,所述齿轮啮合有第二齿条,所述第二齿条与所述安装块和片盒侧壁贯穿滑动连接。本实用新型可以在取片过程中保证片盒内的硅片不被灰尘污染,保障了优质的光刻效果,同时可以对不同厚度的硅片进行夹持,具有更强实用性。
基本信息
专利标题 :
一种光刻机的取片装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020639334.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-24
授权号 :
CN211603841U
授权日 :
2020-09-29
发明人 :
鹿国庆钱钟惟薛清王素芹陶莎魏仙琦袁冬青曹晓琴王慧明陆金男
申请人 :
江苏海洋大学
申请人地址 :
江苏省连云港市新浦区苍梧路59号
代理机构 :
北京和联顺知识产权代理有限公司
代理人 :
闫超良
优先权 :
CN202020639334.4
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-09-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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