本实用新型公开了一种光刻板清洗装置。所述光刻板清洗装置包括置于耐有机溶剂容器内的光刻板清洗花篮，所述光刻板清洗花篮包括用于放置光刻板的支架；所述光刻板清洗花篮的边缘处设有用于拿取光刻板的拇指槽。首先，将光刻板的光刻胶接触面向下置于光刻板清洗花篮的支架上；然后，将光刻板清洗花篮放入已装满有机溶剂的耐有机溶剂容器中；最后，将耐有机溶剂容器连同光刻板、光刻板清洗花篮一起放入超声清洗机中进行清洗。本实用新型设计结构简单、易操作，可以在不接触容器的前提下夹持光刻板，光刻板使用面可朝下放入，能减少在清洗过程中已经脱离的光刻胶残留物、粉尘颗粒回落到光刻板表面而产生二次污染的概率，提高光刻板寿命。