本实用新型涉及清洗装置技术领域，公开了一种半导体光刻板快速清洗装置，其结构包括主操控箱体，所述主操控箱体上设置有连接板、轴承座和驱动电机，所述连接板通过铆钉与所述主操控箱体的内壁对称连接，所述轴承座通过铆钉与所述主操控箱体的内壁相连接，并且位于所述连接板的下方，所述驱动电机通过铆钉与所述主操控箱体外表面的右侧相连接，所述连接板上设置有通管，所述轴承座上设置有转动杆，所述转动杆的外表面交错设置有放置盘。本实用新型实现了对半导体光刻板的正反面进行清洗，加快了半导体光刻板清洗时的速度，而且还能对清洗后的半导体光刻板进行风干，提高了半导体光刻板清洗后干燥的速度。