本实用新型公开了一种半导体光刻板移动机构，其结构包括运输板、滑动连接块、滑轨、连接斜板、滑轨体、支撑底块、侧连接块、圆杆,本实用新型一种半导体光刻板移动机构，在将光刻板放置在运输板上的时候，光刻板会先于板体上的吸附块顶端相接触，从而使其能够对光刻板产生一定的吸附，在运输板快移动到加工设备上的时候，板体底部上的活动连接块便于与轨体上的圆杆相接触，从而使活动连接块受力向上移动，带动抽动连接杆上移，使抽板上推，将吸附光刻板推起，使吸附块接触对光刻板的吸附方便进行卸下，使设备在进行使用的时候，其上的运输板能够较好的对光刻板进行吸附固定，在要将其卸下的时候，自动解除吸附，提高了设备对光刻板运输的稳定性。