本实用新型公开了一种半导体光刻板清洗机，其结构包括警示灯、控制面板、可视窗口、清洗机工作平台、电源连接孔、底座、检修挡板、清洗机外壳、显示屏,警示灯位于控制面板左侧，本实用新型一种半导体光刻板清洗机，在结构上设置了清洗机工作平台，将光刻板放入清洗篮中，清洗篮提杠挂在传送带上，液压缸将导轨上升，导轨触碰清洗篮，清洗篮提杠自由落体，清洗篮挂杆落入导轨中，清洗篮落入第一个高压冲洗池中，当预定清洗时间结束时，导轨上升，将清洗篮挂杆顶入传送带上，到达第二个池上方，导轨上升，将清洗篮挂杆落入导轨中，导轨下降进入第二个池清洗，依次反复直到清洗结束，自动化输送，达到批量清洗，节约了清洗时间，提高了工作效率。