本实用新型公开了一种半导体光刻板清洗机，其结构包括侧放置块、支撑侧板、顶块、清洗块、输送板、机体、底座,本实用新型一种半导体光刻板清洗机，在使用设备的时候，输送板上的输送带会与其底端上的转动轮相配合，使转动轮进行转动，带动其上的凸轮进行转动与滑动连接板相配合，从而使滑动连接板带动刷动连接块上的清理刷进行左右的往复运动，与输送带相配合，对其进行刷动清理，将杂物刷落下来至收纳槽中，通过改进设备的结构，使设备在进行使用的时候，能够较好的对输送板上的输送带进行清理，避免输送带上粘附杂物，在将清理好的光刻板输送出来的时候对其造成污染。