半导体原料清洗装置
授权
摘要

本实用新型涉及半导体处理技术领域,具体涉及一种半导体原料清洗装置,包括:盒状本体,所述盒状本体的底部具有镂空结构;喷淋装置,设置于所述盒状本体的上方,用于对半导体原料进行喷淋冲洗;可抽拉的密封板,设置于所述镂空结构之间。在排酸冲水时抽去密封板同时打开高压喷淋装置冲洗,高压冲洗的好处是使用水生产多束、多角度、强度各异的高压水射流,这种水射流的速度极高,具有巨大的打击能力,能够更好的带走半导体原料表面附着的酸溶液及酸溶液腐蚀的杂质,这种方法减少了水资源的浪费,大大的提高了工作效率。

基本信息
专利标题 :
半导体原料清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020912443.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-26
授权号 :
CN213856016U
授权日 :
2021-08-03
发明人 :
焦雪梅马英俊林泉赵静敏权盼赵邦超孟杰杨微郑粉桃闻爱清
申请人 :
北京国晶辉红外光学科技有限公司
申请人地址 :
北京市海淀区北三环中路43号二区
代理机构 :
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 :
佟林松
优先权 :
CN202020912443.9
主分类号 :
B08B3/08
IPC分类号 :
B08B3/08  B08B3/02  B08B3/10  B08B13/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2021-08-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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