喷淋装置及工艺腔
授权
摘要
本实用新型提出了一种喷淋装置及工艺腔，其中，喷淋装置包括：盖体，盖体上开设有注入通道；电极板，电极板与盖体之间形成布气空间，注入通道连通于布气空间；布气装置，设置在布气空间内，位于注入通道与电极板之间。本实用新型提供的喷淋装置，通过在盖体与电极板之间形成布气空间，通过注入通道注入的气相沉积工艺气体在布气空间进行缓冲后通过电极板沉积在基材上，通过布气空间的形成，使流经电极板后的气体供给更为均匀，进一步提高了镀膜的均匀性。本实用新型提供的喷淋装置，通过在布气空间内设置布气装置，对气相沉积工艺气体起到分散和均匀分布的作用，使气相沉积工艺气体均匀的供给到电极板上，能够提高镀膜均匀性，提高镀膜效果。
基本信息
专利标题 ：
喷淋装置及工艺腔
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020334953.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-17
授权号 ：
CN212476875U
授权日 ：
2021-02-05
发明人 ：
梁建军候岳明朱海剑
申请人 ：
常州捷佳创精密机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
代理机构 ：
北京友联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汪海屏
优先权 ：
CN202020334953.2
主分类号 ：
C23C16/455
IPC分类号 ：
C23C16/455 C23C16/509
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2021-02-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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