一种金属管件内壁镀膜系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种金属管件内壁镀膜系统，包括：镀膜电源、固定装置、抽真空装置、左阳极板、右阳极板、工艺气路管道以及基座；工艺气路管道为一接地的导电性管道，与左、右阳极板共同组合以形成闭合阳极；通电状态下，工艺气体被离化为正离子和电子，在待沉积管件的内壁重新组合形成所需固态膜层。本实用新型提供的金属管件内壁镀膜系统，利用工艺气路管道参与阳极系统，与左、右阳极板共同组合，形成闭合阳极系统，在待沉积管件内形成均匀的电场分布，同时利用左、右抽气腔体真空控制系统维持待沉积管道内部气体的均匀分布，实现待沉积管件内壁固态膜层的均匀化，提高所形成的固态膜层的质量，以便应用于要求较高的场合。
基本信息
专利标题 ：
一种金属管件内壁镀膜系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020337808.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-17
授权号 ：
CN211689233U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
张晓岚谢丑相籍龙占王国昌
申请人 ：
杭州朗旭新材料科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市滨江江陵路88号万轮科技园9幢北楼803
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
张欣然
优先权 ：
CN202020337808.X
主分类号 ：
C23C16/50
IPC分类号 ：
C23C16/50 C23C16/455
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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