一种直接产生双路相干光的激光器
授权
摘要
本申请属于短脉冲激光技术领域，特别是涉及一种直接产生双路相干光的激光器。现有的多光束激光光刻装置存在器件过多，光能利用率低，干涉条纹光强分布不均匀等缺点。本申请提供了一种直接产生双路相干光的激光器，包括依次排列的第一激光振荡组件、电光调Q组件和第二激光振荡组件；所述第一激光振荡组件包括依次排列的第一达曼透射光栅、第一激光晶体激励构件和第一达曼反射光栅；所述第二激光振荡组件包括第二达曼反射光栅、第二激光晶体激励构件和第二达曼透射光栅；所述第一激光晶体激励构件包括第一泵浦光源和第一激光晶体，所述第二激光晶体激励构件包括第二泵浦光源和第二激光晶体。此双路光干涉效果好、工作效率高、可靠性高。
基本信息
专利标题 ：
一种直接产生双路相干光的激光器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020352262.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-19
授权号 ：
CN211480499U
授权日 ：
2020-09-11
发明人 ：
李永亮王驰杨超
申请人 ：
长春理工大学
申请人地址 ：
吉林省长春市卫星路7089
代理机构 ：
北京市诚辉律师事务所
代理人 ：
范盈
优先权 ：
CN202020352262.5
主分类号 ：
H01S3/094
IPC分类号 ：
H01S3/094 H01S3/105 H01S3/13
法律状态
2020-09-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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