温度检测装置
授权
摘要
公开一种温度检测装置。根据一个实施例的用于基板处理的处理液的温度检测装置可包括：温度测量传感器，其与所述处理液流动的管外面临接地设置，感知所述管内部处理液的温度。
基本信息
专利标题 ：
温度检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020354598.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-19
授权号 ：
CN211904476U
授权日 ：
2020-11-10
发明人 ：
李在元李周荣郑炅哲李俊弧朴容国
申请人 ：
凯斯科技股份有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道安城市
代理机构 ：
北京冠和权律师事务所
代理人 ：
朱健
优先权 ：
CN202020354598.5
主分类号 ：
G01K13/02
IPC分类号 ：
G01K13/02 G01K1/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K13/02
用于测量运动流体或可流动颗粒材料的温度
法律状态
2020-11-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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