本实用新型公开了一种ALD真空炉加热结构，包括若干加热模组以及固定组件，所述加热组件包括加热盘管以及固定板，加热盘管贴合在固定板上，加热组件的一端固定在其中一个炉门上，固定组件多个包括筋条，筋条位于加热腔体内侧靠近另一个炉门；每个筋条包括两个折板，两个折板互相垂直；固定板与筋条一一对应，固定板的端部贴合在筋条的其中一个折板上，在该筋条的另一个折板上设置有螺孔，通过螺孔在该折板上设置一个连接块，连接块呈“L”型，连接块上设置有螺钉和螺母组件，螺钉可旋紧从而将固定板和对应的折板抵住从而进行固定。活动快安装拆卸均较为方便，活动块具有可调节性，保证加热模组能够在需要的位置有效固定。