一种检测CVD钻石应力分布的装置
授权
摘要
本实用新型涉及材料科学技术领域，且公开了一种检测CVD钻石应力分布的装置，包括工作台，所述工作台的上表面固定连接有L形板、运算模块和显示器，所述工作台的上表面滑动连接有移动平台，所述L形板的上表面固定连接有光学检测机构，所述工作台的上表面固定连接有无极控制开关。本实用新型能够全面检测CVD钻石表面的应力分布，提高了CVD钻石应力分布检测的准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种检测CVD钻石应力分布的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020407474.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-26
授权号 ：
CN212059196U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
刘宏明赵芬霞
申请人 ：
湖州中芯半导体科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省湖州市吴兴区高新区中横港路33号2号厂房5号
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
邓凌云
优先权 ：
CN202020407474.9
主分类号 ：
G01L1/24
IPC分类号 ：
G01L1/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/24
通过测量材料受应力时其光学性质的变化，例如，应用光弹性应力分析
法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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