一种可翻转产品的卧式热壁CVD涂层镀膜机用石墨夹具
授权
摘要
本实用新型提供一种可翻转产品的卧式热壁CVD涂层镀膜机用石墨夹具，包括：第一圆环(1)，第二圆环(2)，翻转杆(3)，旋转杆(6)，固定螺丝(7)，第一旋转电机(8)，步进电机(9)，第二旋转电机(10)，升降电机(11)；样品(12)为圆盘形，固定在石墨夹具上，第二圆环置于第一圆环内部并且相互垂直，第一圆环和第二圆环部分固定连接在一起，翻转杆与第一圆环和第二圆环上的圆形通孔适配连接，旋转杆与第一圆环适配连接，第一旋转电机与步进电机均与翻转杆连接，第二旋转电机和升降电机与旋转杆连接，升降电机控制旋转杆的上下伸缩，实现旋转杆与夹具的连接和断开，第二旋转电机带动旋转杆自转。
基本信息
专利标题 ：
一种可翻转产品的卧式热壁CVD涂层镀膜机用石墨夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020408616.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-26
授权号 ：
CN211734470U
授权日 ：
2020-10-23
发明人 ：
盛锋锋周李伟丁柳宁陈嘉琪刘超
申请人 ：
浙江六方碳素科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道展诚大道78号6号楼
代理机构 ：
北京华旭智信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李丽
优先权 ：
CN202020408616.3
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2020-10-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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