一种卧式热壁CVD涂层镀膜机用公自转石墨夹具
授权
摘要

本实用新型提供一种卧式热壁CVD涂层镀膜机用公自转石墨夹具,包括:连接块(1),连接杆(2),支撑杆(3),旋转盘(4),支撑块(5),旋转杆(6),第一旋转电机(7),齿轮旋转杆(8),第二旋转电机(9),主动齿轮(10),从动齿轮(11),圆盘形产品或样品(12)位于高温炉(13)内,连接块通过连接杆与产品或样品连接,连接块通过支撑杆与从动齿轮固,从动齿轮和主动齿轮的中心突出部放置在旋转盘中心的深孔内,旋转盘固定在支撑块上,支撑块固定在旋转杆上,旋转杆的底部固定在第一旋转电机上,齿轮旋转杆从底部穿过旋转盘、支撑块、旋转杆和第一旋转电机的中空通道与主动齿轮通过螺纹结合,齿轮旋转杆底部与第二旋转电机固定。

基本信息
专利标题 :
一种卧式热壁CVD涂层镀膜机用公自转石墨夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020407322.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-26
授权号 :
CN211734469U
授权日 :
2020-10-23
发明人 :
盛锋锋周李伟丁柳宁刘超
申请人 :
浙江六方碳素科技有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道展诚大道78号6号楼
代理机构 :
北京华旭智信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李丽
优先权 :
CN202020407322.9
主分类号 :
C23C16/458
IPC分类号 :
C23C16/458  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2020-10-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332