一种用于真空镀膜机的自转式工架机构
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摘要
一种用于真空镀膜机的自转式工架机构,自转齿轮机构包括有旋转缸,旋转缸的旋转轴穿过镀膜机本体,该旋转轴连接有曲柄摇杆机构,曲柄摇杆机构的另一端连接有导向滑块,导向滑块的下方活动连接有导向轨,导向滑块的上方固定连接有齿条,自转齿轮套设于挂架组件的底端,本实用新型的通过曲柄摇杆机构使齿条与自转齿轮相啮合,实现自转下轴旋转带动挂具180度翻身进行反面镀膜,并通过自转定位器使挂具达到准确翻身的目的;由于曲柄摇杆机构由旋转缸控制,能够使其选择性均匀地镀膜,实现在同一炉批次内自动翻面,避免开门翻身再抽真空升温需要消耗的时间和电能,有效节省时间和电能,并提高了双面镀膜效率,有效保障了双面镀膜的均匀性和一致性。
基本信息
专利标题 :
一种用于真空镀膜机的自转式工架机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921039088.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-05
授权号 :
CN210215534U
授权日 :
2020-03-31
发明人 :
王越民王焘骏
申请人 :
佛山王氏航空光学科技有限公司
申请人地址 :
广东省佛山市南海区狮山镇经济开发区北园(测试车间)
代理机构 :
北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
郭官厚
优先权 :
CN201921039088.2
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50 C23C16/458
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-03-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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