一种真空镀膜的自转式工架机构
授权
摘要
本实用新型提供一种真空镀膜的自转式工架机构，包括：自转工件架、从动齿圈、公转盘、行星轮一、行星轮二以及太阳轮，所述从动齿轮盘上表面设有公转盘，所述从动齿轮盘右侧安装有主动齿轮盘，所述公转盘上表面中心处安装有轴承三，所述轴承三内部安装有传动轴，所述传动轴下端通过轴承三安装在从动齿轮盘、公转盘内部，所述传动轴上端设有太阳轮，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置公转盘和主动齿轮盘，使得工架机构能够发生公转，太阳轮、从动齿圈、行星轮一以及行星轮二设计，使得自转工件架在太阳轮的带动下，公转的同时，还能够自转，提高镀膜的效率和质量。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜的自转式工架机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022074342.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-21
授权号 ：
CN213113490U
授权日 ：
2021-05-04
发明人 ：
卢林松
申请人 ：
苏州双石真空镀膜有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区望亭镇何家角村何杭路551号一楼
代理机构 ：
苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘盼盼
优先权 ：
CN202022074342.1
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C16/458
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-05-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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