一种真空镀膜的自转式工架机构
授权
摘要

本实用新型提供一种真空镀膜的自转式工架机构,包括:自转工件架、从动齿圈、公转盘、行星轮一、行星轮二以及太阳轮,所述从动齿轮盘上表面设有公转盘,所述从动齿轮盘右侧安装有主动齿轮盘,所述公转盘上表面中心处安装有轴承三,所述轴承三内部安装有传动轴,所述传动轴下端通过轴承三安装在从动齿轮盘、公转盘内部,所述传动轴上端设有太阳轮,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:通过设置公转盘和主动齿轮盘,使得工架机构能够发生公转,太阳轮、从动齿圈、行星轮一以及行星轮二设计,使得自转工件架在太阳轮的带动下,公转的同时,还能够自转,提高镀膜的效率和质量。

基本信息
专利标题 :
一种真空镀膜的自转式工架机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022074342.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-21
授权号 :
CN213113490U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
卢林松
申请人 :
苏州双石真空镀膜有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市相城区望亭镇何家角村何杭路551号一楼
代理机构 :
苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘盼盼
优先权 :
CN202022074342.1
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50  C23C16/458  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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