传输机构及使用该传输机构的真空镀膜系统

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摘要

传输机构及使用该传输机构的真空镀膜系统属于半导体材料制造领域，具体涉及但不限于太阳能电池生产中等离子体增强化学气相沉积的真空镀膜系统及该真空镀膜系统中的传输机构。本实用新型提供一种系统高度相对较低，运行稳定的传输机构及使用该传输机构的真空镀膜系统。本实用新型的传输机构包括基座，其特征在于：基座上通过第一联动装置设置有两上层转轴，第一联动装置使两上层转轴转动方向相反；两上层转轴下端均与一中层主动转杆的一端相连，两中层主动转杆的另一端均与一下层从动杆的一端铰接，两下层从动杆的另一端下侧均通过下层转轴与一底层基板相连，两下层转轴之间通过第二联动装置相连，第二联动装置使两下层转轴转动方向相反。

基本信息

专利标题：

传输机构及使用该传输机构的真空镀膜系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021957126.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-09

授权号：

CN212505060U

授权日：

2021-02-09

发明人：

杨宝海德克·哈伯曼杨娜潘家永许伟伟宋玉超乌韦·哈伯曼李轶军李翔李敦信李义升

申请人：

金辰双子太阳能光伏科技（营口）有限公司

申请人地址：

辽宁省营口市西市区新港大街95号

代理机构：

沈阳亚泰专利商标代理有限公司

代理人：

周涛

优先权：

CN202021957126.5

主分类号：

C23C16/458

IPC分类号：

C23C16/458