本实用新型公开了一种探针卡检测设备用保护装置，包括探针卡检测机构，所述探针卡检测机构包括有底座、支撑架和探针卡检测台，所述支撑架固定安装在底座的上部四角位置，所述探针卡检测台固定安装在底座的上部居中位置，所述底座的底部设有保护机构，所述保护机构包括有支撑座、防撞支座、凹槽、硅胶防撞套、透气孔、接触球和防撞弹簧，所述底座的前部设有除尘机构。本实用新型所述的一种探针卡检测设备用保护装置，具备优异的防撞击功效，同时也具备清洁灰尘的功效，一方面避免了撞击对检测设备造成的损坏，另一方面也避免了手动清洁灰尘的时候对针点垫造成损坏的现象，保护效果好，安全性更高。