全自动刮边机
授权
摘要
本实用新型提供一种全自动刮边机,其包括基座箱,在基座箱的设置平台上设置有治具机构、对中机构、输送机构、处理机构、调度机构以及控制系统。通过治具机构放置晶圆片,组装机械手输送晶圆片;对中装置将晶圆片上料到输送机构的承载台上并对中,输送机构中放置晶圆片的承载台沿第一X轴运行平台滑动。在晶圆片刮边处理时,通过处理机构的扫描装置对承载台上的晶圆片进行扫描并确定其位置信息,控制系统根据扫描装置反馈的晶圆片位置信息,控制处理机构的刮边装置根据晶圆片的周边轮廓对晶圆片进行刮边加工。本实用新型提供的全自动刮边机能精准的完成晶圆片的打磨刮边,大大的提高了晶圆片刮边处理的良率和效率,降低了成本。
基本信息
专利标题 :
全自动刮边机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020430259.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-27
授权号 :
CN212071388U
授权日 :
2020-12-04
发明人 :
薛小宾
申请人 :
深圳市赛平精密技术有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区西乡街道铁仔山公园路西成龙秋口工业区c栋一楼
代理机构 :
深圳市宏德雨知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李捷
优先权 :
CN202020430259.0
主分类号 :
B24B9/06
IPC分类号 :
B24B9/06 B24B55/06 B24B41/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B9/00
适用于磨削工件边缘或斜面或去毛刺的机床或装置;其附件
B24B9/02
以被磨制品材料性质为特征专门设计的
B24B9/06
非金属无机材料的,如石头,陶瓷制品,瓷器
法律状态
2020-12-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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